濕度精密測量的探討
摘要：本文對新型的電容、電導和熱傳導濕度傳感器及經典的干、濕球溫濕度計進行了評述，研制了新的干、濕溫差溫濕度計，提出了以溫度標定替代濕度標定的方法。
關鍵詞：濕度傳感器濕度標定干、濕溫差溫濕度計
１．濕度測量的現狀
我們在濕度的測量與控制的工作中，了解到新一代的電容、電導和熱傳導濕度傳感器已達到了商品化的實用程度。這些濕度傳感器均采用了現代半導體技術和微處理器技術，使器件的非線性得到了完善的修正，并出現了低能耗一體化測量模塊，實現各種智能化的測控功能。現在市售的各種濕度傳感器，大部分為進口產品，如深圳光之神公司推出的HIS型濕敏電容及其濕度變送器，設計比較精巧，可實現相對濕度、絕對濕度、露點三個熱力學參數的快速測量，達到的測量精度，穩定性和重現性也較好，但在抗結露能力（防水浸）和抗污染氣氛（酒精、煤氣、化肥、農藥等）方面各有不同。電導性陶瓷燒結的濕敏傳感器性能良好，長沙華鵬公司自行研制和配套生產的濕度傳感器，標定A，達到了可在水中長時間泡浸的水平。這些濕度傳感器代表了現代濕度傳感器的方向，經典的溫濕球濕度表，毛發濕度計等是不可能與之相媲美的。
我們在一家儀器商店考察了各種不同廠商生產的濕度計，發現沒有一臺數字式濕度計（大多是濕敏電容傳感器）與經典的溫濕球溫濕度表的濕度測量結果相一致，且誤差在以上，有的甚至在以上。同一廠家生產的同一型號的產品，濕度測量結果也不完全一致，只是相差較小。
由以上分析可知，由于半導體技術、計算機技術的飛速發展，已使新型的濕度傳感器達到了可以商品化生產的實用程度。然而，尚有以下三個方面的問題：
①在標定方面，必須有專用的濕度標定儀器，不能象經典的溫濕球那樣只進行溫度標定。
?、谠谑褂梅矫孳姡鞣N新型濕度傳感器都不能覆蓋全部使用范圍，需要使用者進行適當選擇，從而限制了市場的進一步擴大。
?、墼谠矸矫?，新型濕度傳感器是利用各種材料對濕度的敏感程度進行間接測量的，而不能象經典的溫濕球濕度表那樣，用熱力學定義進行直接測量，并已為廣大使用者所熟知，可信度好。
為此，我們開展了一種新濕度傳感器的研制。
2．新型干濕溫差濕度計的研制
我們從熱力學對相對濕度（RH）的定義出發，根據經典的干、濕球溫濕度計的測量方法，利用微電子技術和單片機技術，實現了濕度的智能化測量。
新型濕度計的測量精度，取決于溫度傳感器(1)和溫度傳感器(2)的對稱性，要求兩支溫度傳感器完全一致。利用現有的測溫傳感器，熱電阻、半導體等不難做到只有0.01℃的誤差，使濕度測量有可能達到較高的精度要求。我們用溫度傳感器(2)測出濕球的溫度，用溫度傳感器(1)測出環境溫度，并將兩個溫度值送入單片機，按熱力學對濕度的定義進行數據處理，計算測量環境的溫度、濕度值，并以數字量的形式輸出。
測試結果表明，新型干、濕球溫濕度計具有以下特點：
?、贉y量精度高，可達水平，可作濕度標定之用；
?、谟脺囟葮硕?，替代濕度標定，標定精確、容易；
?、蹖崿F了數字化，可直接讀數，從而克服了經典的干、濕球溫濕度計不能直接讀數和無電信號輸出等缺點；
?、芸尚哦雀?，穩定性好。這種測量方法基于相對濕度的熱力學定義，測量結果完全符合國家干、濕溫差濕度標準。
這種新型濕度計，可作為濕度的標定儀器，亦可廣泛應用于氣象、人工環境實驗室，作為濕度精密測量和控制之用。
3．結論
本文提出的新型干濕球濕度計，吸取經典的干、濕球溫濕度計的測溫原理，克服了不能直接讀數的缺點，同時又解決了目前已商品化的各種測濕儀器測量精度低、穩定性差，抗干擾能力弱等諸多問題，是目前測濕方法中易于標定、高精度、高穩定性、高可靠性的全新測溫、測濕儀器，具有廣泛的應用前景。
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